扫描电子显微镜
技术简介
扫描电子显微镜允许高放大度和高分辨率成像样本表面高能电子束扫描跨样本表面束电子与所审查材料原子交互产生数大可测量效果,包括成像表面特征(形态学/地形学)、平均化学(平均原子数对比)和阴道光学(可见光)。与光显微镜相比,SEM允许高得多放大图像并大大加深领域(聚焦范围)。
当前仪表
当前SEM为JSM5410LVTungstenGun(电子源码)SEM辅助电子成像(SEI)、反射电子成像(BEI)和阴道光检测器高空和低空模式均有效
应用
SEM用于需要高放大成像的任何研究领域即使在低放大度技术常使用,因为广度可实现远优于传统光显微镜例子包括生物和生命科学、地球和环境科学、材料科学、法医学、工程学、制造和处理技术等所有领域
样本需求
SEM可用于各种物型需要提出的主要考虑有:
样本大小-受采样室物理维度约束
稳定在真空中-湿质或软质在真空中可能表现不好,样本可能需要在成像前处理,以使其在这一环境中更加稳定。
传导性-波束电子可建基于样本生成成像问题样本本身不导出需要优先应用薄面涂层(通常是金或碳涂层)。
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