电机微分析器
技术简介
电子实验微分析器(EPMA)结合扫描电子显像片特征(高放大度高分辨率成像)和微量元素分析允许非损耗分析小量固态材料和SEM一样,电子波束扫描遍及样本表面,波束电子与所审查材料原子交互产生多项可测量效果生成成像信息X光从样本中生成通过测量这些X射线的能量或波长,可辨识现有元素X射线强度比较已知组成标准使数据量化
当前仪表
AC目前装有JeolJXA8200“superprobe”设备
5波分散分光计,每个带双重晶体
分散能量分光计
Tungsten和LaB6电子枪
反冲电子成像
二级电子成像
Cathodolunscense系统-波长分光计系统
高速高分辨率大片级
应用
EMPA可在许多研究领域使用,主要当需要微量化学分析时使用EPMA能力从B到U分量分析 典型分析量介于1到3微米除单点分析外,线遍历(例如矿山核心至边缘分析)或元素地图可制作后一网格分析运行,元素分布空间分布可显示成图像(映射图)。
某些样本类型产生可见光时受电子波束驱动即cathoduminescenceCL变异常常是微分化学或结构变形/缺陷变化的结果,因此可用于辨别代代相异矿相ACEEPMA配有XCLent波谱仪系统结合元素映射使用,可生成图像显示CL强度空间分布并产生实际波长变化
样本需求
关于SEM,EPMA样本需要稳定在真空中,如果不是电导覆盖(典型分析碳使用)。量化分析需要平面擦除法(通常是擦薄段或树脂架)。
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